産品分類
全部分類
特點:
自(zì)主研發采用進口相(xiàng)機(jī)和系統設計,支持自(zì)行編程操作且簡單易懂(dǒng);
設備技(jì)術(shù)參數:
産品型号:晶圓/外延片等外觀缺陷,尺寸及厚度檢測;
主相(xiàng)機(jī)配置:線掃≥8K,面掃≥500萬;
Stage:平坦度≤±1um,位置精度≤±0.1um;
軟件(jiàn)算(suàn)法:一(yī)體機(jī),具有控制器(qì)獨立的軟件(jiàn);
檢測項目:各種不良項目及平面度
檢驗精度:0.5um;
檢驗方向:上(shàng)、下(xià)、左右側視皆可;
檢出情況:檢出率≥99%、誤檢率≤1%;
控制系統采用的執行元件(jiàn)應具備高(gāo)精度、高(gāo)可靠性和反應迅速的特點。
支持自(zì)行編程操作且簡單易懂(dǒng),同時可最大支持99項defect可編程檢測。
支持客制化定制
上(shàng)一(yī)個(gè)
無
下(xià)一(yī)個(gè)
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